近日，中导光电设备股份有限公司（以下简称“中导光电”）纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备（NanoPro-150）再次交付客户。

此次交付用户的NanoPro-150产品灵敏度系纳米级序列，充分满足半导体芯片90nm及以上产线制造工艺需求。NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端产品，本次交付的设备将用于国内功率半导体头部公司的量产线。

资料显示，中导光电是国内半导体及泛半导体前道图形缺陷检测设备的企业，其亚微米级和微米级设备累计销售逾350台，长期稳定地运行在众多量产线中。目前，该公司进入销售和量产的NanoPro-1XX系列产品和MDI亚微米检测设备，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX即将先后进入市场，可望覆盖国内半导体前道检测设备需求市场的90%以上。