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集成电路领域,嘉芯半导体与嘉善复旦研究院达成战略合作
发布时间: 2023/8/18 14:39:15 | 116 次阅读
8月16日,万业企业旗下嘉芯半导体设备科技有限公司(以下简称“嘉芯半导体”)与嘉善复旦研究院宣布达成战略合作。
万业企业官微表示,根据战略合作协议的内容,双方建立战略合作伙伴关系,就集成电路领域的科研合作、产业合作、人才交流等方面形成长期稳定的合作关系。
资料显示,嘉芯半导体于2021年4月由半导体设备上市公司万业企业携手quan球产业zhuan家共同投资成立,总投资规模达20亿元,用地面积109亩,公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等等集成电路成熟工艺的关键设备,产品范围覆盖芯片制造he心设备的多个重要品类。
据了解,自2022年下半年开始,嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线,包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机;高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)、钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)、铝铜金属溅射设备(Metal Sputter(Al/Ti/TiN))、快速热处理(RTP)设备以及双燃烧%2B双水洗尾气处理等多类设备。